チタン製バッキングパイプとチューブ
チタン製バッキングパイプとチューブ
チタンバッキングパイプとチューブ
グレード2
サイズ: 最大外径 300mm、最大長さ 6000mm
回転式バッキングチューブ
回転式スパッタリングカソードは、従来の平面型スパッタリングカソードに比べ、酸化物等のコーティングをより高速に形成でき、ターゲットの使用率も高くなっています。回転式スパッタリングカソードをデュアルカソードとして使用することで、ターゲット交換頻度を大幅に削減できます。
回転式スパッタリング装置用バッキングチューブを製造しています。対応材質はTi、銅、SUSなどです。
