BA＆EPグレードのチューブとパイプは、化学的に洗浄および不動態化されて、ASTMG93またはSEMIE49.6に準拠するように不揮発性残留レベルを維持します。UHPチューブとパイプは、18MΩの水ですすぎ、99.9995％のろ過窒素でパージされ、クラス10のクリーンルームに梱包されます。
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